日立發(fā)布的200kV球差校正透射電鏡HF5000，具有高穩(wěn)定冷場發(fā)射電子槍，自動球差校正器，可一鍵操作實(shí)現(xiàn)自動球差校正，HAADF-STEM分辨率可以達(dá)到0.78埃；可配置EDS雙探頭，固體角可達(dá)2.0sr；具備TEM、STEM，SEM和電子衍射等多種圖像觀測模式；鏡筒和樣品臺經(jīng)過了重新設(shè)計(jì)，顯著提升了儀器的性能和穩(wěn)定性......HF5000將是材料學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體制造、石油煤炭等研究領(lǐng)域的可靠助手。

特點(diǎn)：

　   1、高度自動化球差校正，盡量減少人員介入，適用于繁忙的分析測試中心或設(shè)備平臺;

　　2、三位一體呈現(xiàn)(TEM、STEM、SEM)，內(nèi)部結(jié)構(gòu)成像和表面結(jié)構(gòu)成像可同時進(jìn)行同時獲取;

　　3、EDS超大球面角，無窗口探頭?？蓪?shí)現(xiàn)快速，高靈敏度化學(xué)成分分析;

　　4、前瞻性平臺總體設(shè)計(jì)，為性能擴(kuò)增預(yù)留選項(xiàng)，例如可擴(kuò)增為氣體環(huán)境電鏡。

參數(shù)配置：